NanoFocus μsurf solar 太阳能电池3D显微镜
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地区:上海
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产品介绍
        μsurf系列产品采用多孔共聚焦技术,结合CCD的影像摄取,以有许多孔洞的旋转盘取代侦测器的孔洞,再将物镜垂直移动,以类似断层摄影方式,可在短时间内(约几秒)量测物体的三维数据。其测量方式是非接触式,不会破坏样品的表面,不需要在真空环境下测量,也可以用显微镜测量的功能来观测样本,其在严酷的工作环境下,也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法,在测量渐变较大的高度时,跟其他方法相比,可以更量测物体高度,建立3D立体影像,优势相当明显。
        NanoFocus μsurf solar太阳能电池3D显微镜,可以对太阳能电池片进行自动化测量,广泛适用于单晶、多晶和薄膜太阳能电池片,一分钟内可以自动测量12个区域,是质量检验和生产控制中的有效的光学三维表面测量和分析工具。可以进行太阳能电池片栅线的3D形貌表征、高宽比测量,制绒后3D形貌表征(单晶金字塔大小、数量、角度、比表面积,多晶腐蚀坑形貌、密度),粗糙度分析,以及减反射层腐蚀表面的测量,薄膜小孔的检测和自动分析。
       作为太阳能行业必要设备,μsurf solar太阳能电池3D显微镜从硬件到软件均是针对太阳能行业定制开发出来的,其测量样品的平台带有真空吸盘,可以承受210mmX210mm的样品,能确保太阳能电池片移动时不破坏。适用μsurf solar有利于控制生产工艺,提高效率,是质量的可靠保证。 


技术参数
LED光源:λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h
测量时间:2~10秒
测量原理:非接触、共聚焦
X/Y方向:平台移动范围200mmX200mm,马达驱动,移动速度40 mm/s,X/Y方向分辨率:0.3μm
Z方向测量范围:500μm,Z方向分辨率:1nm
物镜:10X、20X、50X、100X(可选)
离轴摄像头(10X),视野8 x 6 mm2(选配)
计算机:高性能计算机控制系统,功能强大且附带全面解决方案的自动化软件
工作电源:100-240V, 50-60Hz,input: 550 VA
材质:钢铁、橡胶、大理石
洁净室等级: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644) 


设备咨询联系人:
Ronnie Chen(上海巨纳) +86-
Frank Ding(NanoFocus中国) +0