一、简介

磁力显微镜(MFM)是原子力显微镜派生出来的一系列力显微镜之一，是基于原子力显微镜的二次成像技术，即抬起模式，所不同的是磁力显微镜使用磁性探针。磁力显微镜(MFM)采用磁性探针对样品表面扫描检测，该工作模式分两个阶段,阶段与普通原子力显微镜形貌成像一样，在探针与样品间距1nm以内成像，采用轻敲模式，得到样品表面高低起伏的形貌像并记录下来；
然后，将探针抬起并一直保持一定的高度(通常为10～200nm)，进行第二次扫描，该扫描过程可以对一些相对微弱但作用程较长的作用力进行检测，如磁力和静电力。当振动的针尖接近磁性样品时，针尖与样品所产生的漏磁场（或者说样品中的磁畴结构）相互作用而感受到磁力，使得微悬臂的共振频率或弯曲程度发生变化，从而改变其振幅和相位。振荡微悬臂的相位角及对应的微悬臂压电驱动器信号，同时被EEM（extender electronics module）记录，它们之间的差值变化用来表征样品的磁结构。

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