极高分辨率的扫描电子显微镜

Magellan XHR SEM 系列扫描电子显微镜 (SEM)让科学家和工程师迅速看到以前无法视及的微观世界： 高灵敏的表面图像、以及俯视或从其它角度观看图像，分辨率可达到一纳米以下。 这款电镜上的一些重要突破在于它镜筒上采用了革命性的单色枪技术,它使显微学家可完美地把高空间分辨率和超浅入射电子束结合在一起。 Magellan XHR SEM 系列扫描电子显微镜 (SEM) 在不受样品大小限制的条件下,既扩展了传统纳米尺度扫描电子显微镜的成像和分析范围与能力，同时又具备相当于传统扫描电子显微镜 (SEM) 的速度和易用性。

规格

加速电压	5 V - 30 kV
放大倍数	在射束同心时为 1.5 mm（宽度为 4 mm）
探针电流	电子束：1 pA - 22 nA
试件室	100 mm 直径、360 度旋转（）

 
主要优点
• 亚纳米分辨率、1 kV - 30 kV 加速电压、无与伦比的稳定性和高达 20 nA 的电子电流
• 创新的电子光学，包括 FEI 的 单色UniColore (UC) 技术（使能散小于 0.2 eV）
• 使用单个工具进行材料和缺陷分析，实现高生产量和“快速应答”
• 表面灵敏高分辨率成像，低至 50 V 的着陆能量
• 高精密、高稳定样品台，可在大分析室内进行 100 x 100 mm 样品完整表面的 超高分辨成像
• 样品尺寸、形状、成分、制备不会互相制约
• 包括分析和原型制造的多样应用性
• 简单易学、易用