【Hitachi】日立扫描电子显微镜SU-1510
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图文详情
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产品属性
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主机宽度仅为55cm，体型小巧，具有3.0nm分辨率的高性能可变压力扫描电镜。
主要特点：
1、仪器主体比过去减小20%，可以更加自由地选择安装场地。
2、标配低真空功能，可以对不导电进行无喷涂观察。高低真空转换一键完成。
3、样品台可载入直径153mm，高度为60mm(WD=15mm)的样品，并进行EDX分析。
4、强大的鼠标控制功能，可实现电镜的所有操作。
5、分子泵真空系统，洁净无污染。
技术参数 ：
| 二次电子分辨率 | 3.0nm（高真空，30kV） |
| 背散射电子分辨率 | 4.0nm（低真空：60Pa，30kV） |
| 倍率 | 5 ~ 300,000倍 |
| 加速电压 | 0.3~30 kV |
| 样品台 | X 0~80mm Y 0~40mm Z 5~50mm T -20~80mm R 360° |
| 样平台控制 | 手动（可选：2轴马达） |
| 载入样品尺寸 | 直径：153mm |
| 观察范围 | 直径：126mm（XYR并用） |
| 样品高度 | 60mm (WD=15mm) |
| 低真空范围 | 6-270Pa（从菜单设定） |
| 灯丝 | 预对中钨灯丝 |
| 物镜光阑 | 4孔可变光阑 |
| 枪偏压 | 固定比例偏压、手动偏压、自动4偏压 |
| 检测器 | 二次电子检测器，高灵敏度半导体背散射电子检测器 |
| EDX分析位置 | WD=15mm,TOA=35° |
| 真空系统 | 分子泵1台，机械泵1台 |
| 安全措施 | 停电，漏电，自动保护 |