缩短检查用时，提高检查效率

自动聚焦附件MX-AF

透射光检查照明MX-TILLA/MX-TILLB

MX专用的自动聚焦附件可配合所有的反射光照明观察方式，甚至包括暗视场和微分干涉相衬观察。实现快速和的自动对焦，甚至观察方式转换时也能实时准确的找到焦面。

两种照明装置可选，通用型及高数值孔径型。为FPD，MASK板检查提供合适的照明，并且可配备起偏镜，实现投射光简易偏光观察。

高反差，更高分辨率，更高倍率检查

用于光刻胶残留检查的荧光观察方式

共聚焦附件U-CFU

荧光分光镜模块

共聚焦光学系统可以提供更高的反差和分辨率，分辨率可达0.18μm,并可对多层线条的器件分层对焦，获得高分辨率，高反差的共焦图像。

备有U.B.G等多种荧光方式可选，用于光颗胶残留以及OLED检查。

方便的通讯接口用于显微镜倍率和孔径光阑的控制和参数获得RS232C

用于晶圆以及器件，甚至焊脚的内部检查近红外线观察附件

MX61/MX61L标配包括一个RS232C接口，使得用PC控制显微镜电动部分成为可能，并且可以实现使工艺线上的几台显微镜都在同样的设定状态下工作。

包括专门的红外物镜等附件，对从可见光到近红外波段光线的像差做矫正，用于IC深层或内部检查，可实现对WAFER BUMP的全面检查。