• 类型：U型压力计
• 测量范围：——(kPa)
• 外形尺寸：**(mm)
• 工作压力：(Mpa)
• 存储容量：(ml)
• 温度测量：(℃)
• 压力测量：(%F.S)
• 延时长时间：(h)
• 仪器外径：(mm)
• 电源：(V)
• 额定流量：(m3/h)
• 输出压力：——(MA)
• 温度测量范围：——(℃)

?优点

■ 低 CoO (拥有成本), 50% 快速预热, 能效高, 功耗低
■ 易整合于系统中, 宽广的全量程范围, 法兰和接口, 标准型号带有两个设点
■ 简易的一键操作或遥控讯号调零指令, 零点偏离可调
■ 诊断端口用于快速检修和维护
■ 两年保用期, 真空计使用寿命长, 采用先进 加热概念和传感器保护
■ 由于卓越的讯号稳定性和可重复性, 即使在严酷的等离子应用条件下仍可长期使用,
无需重新校准
■ 承诺和标准: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

用途
■ 刻蚀, PVD, CVD, LPCVD 和其它半导体生产过程
■ 化学和腐蚀性高温过程
■ 需要真空计保护的常用薄膜和真空过程