产品特点：

·可CNC自动编程系统；

·00级花岗石基座，花岗石立柱；

·活动式测量工作台；

·装设五组远芯光路光学系统；

·配置七海MULTI VIEW软件。

技术参数：

·光栅尺分辨率：0.5 um

·测量：XY（3+5L/1000）um

·控制方式：自动

·影像摄取系统：实时五路高解析1/3"彩色CCD 2倍远心光路系统

·光源轮：廓光LED冷光源，亮度连续可调

          表面光LED冷光源，亮度连续可调

·总放大倍率：100x（光学放大倍率为2倍）

·工作距离：150mm

·电源：220V±10% 、50Hz（用电设备要求接地可靠：接地电阻小于4欧姆）

·工作环境：20℃±2℃ 、温度变化<2℃/hr、湿度45%~75% 、振动<0.002g 、低于15Hz