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真空紫外光栅光谱仪
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仪器简介：

真空紫外光栅光谱仪
该系列光栅光谱仪主要应用于大约30nm至可见光区波段，部分型号的仪器可以将应用范围扩展到红外波段。光路设计主要以标准/改良型Czerny-Turner型、正入射型、Seya Namioka型为主，针对不同的实验需求做设计上的优化。

除主机部分外，还提供各种周边附件，以构成各种完整的测量系统。



技术参数：

 

波长范围 光谱 分辨率 焦距长度  产品型号 扫描 功能 多道探测功能 光路结构
30nm to 550nm   0.1nm 200mm 234/302 有 有 Corrected Concave Holographic
 105nm to 78µm     0.06nm 300mm 218 有 有 Criss Cross Czerny Turner
105nm to 78µm    0.04nm 500mm 219 有 有 Corrected Czerny Turner
30nm to 1200nm     0.04nm 500mm 235 有 有 Seya Namioka
105nm to 78µm    0.03nm 670mm 207V  有 有 Czerny Turner
105nm to 78µm    0.017nm 1000mm 2061V 有 有 Czerny Turner
30nm to 1200nm 0.015nm 1000mm 225 有 有 Autofocus Normal Incidence
30nm to 1200nm   0.025nm 1000mm 231 有 有 Seya Namioka
105nm to 78µm   0.012nm 1330mm 209V 有 有 Czerny Turner
30nm to 1200nm 0.007nm 2000mm 2252 有 有 Autofocus Normal Incidence
30nm to 1200nm     0.005nm 3000mm 2253 有 有 Autofocus Normal Incidence
30nm to 1200nm  <0.003nm 5000mm 2255 有 有  Autofocus Normal Incidence
30nm to 1200nm  <0.0025 6500mm 265  有 有 Off Plane Eagle Normal Incidence