仪器简介：
BOC Edwards EXT泵适用于除苛刻的半导体应用和科学应用（这些领域可使用STP系列泵）以外的任何领域。STP系列泵使用电磁轴承，EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷轴承和磁轴承的组合形式。陶瓷轴承与传统轴承相比具有更轻、更硬和更平稳的优点，以及寿命长、小振动的优点。由于轴承滚珠和轴承座使用了不同材料，防止了微小凹陷而提高可靠性。

技术参数：
见技术资料

主要特点：
BOC Edwards EXT系列涡轮分子泵可以通过TIC控制器或EXC控制器控制。 TIC控制器将涡轮控制和仪器控制合二为一，使用起来更加方便。OEM或有电源的终用户可以使用EXC控制器在自己的系统中控制EXT涡轮，这可以降低成本。另外还具有如下优点：无油（涡轮分子泵不产生碳氢化合物污染）；低维护（无轴承接触，无机械磨损）；低振动（比一般轴承的振动低一个数量级）；减少冷却（对许多应用来说自然冷却即可）；定位任意（可以安装在任意位置）。