仪器简介：
溅射离子泵是一种获得清洁超高真空的真空获得设备，它具有清洁、真空度高、无噪声、无振动、操作方便等优点。离子泵工作是封闭系统，不需要有连续工作的前级真空系统。
溅射离子泵是无油超高真空机组的主泵，可应用于高能粒子加速器，受控热核反应装置、电真空器件、半导体材料制备、电子显微镜、质谱仪等科学实验装置及其它需要超高真空的工业设备中。

技术参数：
1.型号　　2L-100　　3L-100
2.入口法兰　　CF150　　CF150
3.抽速(升/秒) 氮气 120　　 110
　　　　　　 氩气 1.2　　24
4.启动压强(Pa)　　≤5×10^-4　　≤5×10^-4
5.极限压强(Pa)　　≤7×10^-8　　≤7×10^-8
6.烘烤(℃) 带磁铁温度 200　　200
　　　　 不带磁铁　 300　　300
7.工作电压(KV)　　+7　　-5
8.抽气单元(个)　　4　　4
9.重量(kg)　　　　30　　30
10.加热罩　　 　　无　　无


主要特点：
1.清洁
2.真空度高
3.无噪声
4.无振动
5.操作方便