仪器简介：

Asylum’s MFP Nanoindenter 纳米压痕仪是一款为市场所认可的商业化纳米级压痕仪，是业内款基于原子力显微镜的压痕仪器。通过结合原子力显微镜的传感器，为该款纳米压痕模块提供了超过其他纳米压痕系统所无法企及的准度、以及敏感度。
纳米压痕仪通过与原子力显微镜的结合，利用原子力显微镜卓越的形貌观察能力同时对压头和压痕结果的测试，可以提供的定量压痕接触区域计算能力，提供业内准确的确定接触区域 ，获得间接估算材料性质所没有的。特有的一维柔性铰链的被动驱动方式从而使得漂移和深度测试中的其他错误得到小化。压入过程中的热漂移效应全自动扣除，测量结果更加真实、可靠。
高性能的样品加载系统和传感技术使得nanoindeter纳米压痕仪成为了多样化的纳米力学表征工具，是科学家、工程师和其他各领域用户的选择。在摩擦、模量成像、动态力学分析、薄膜、陶瓷、复合物、聚合物、微机电系统、生物和金属等领域都有广泛应用。符合 ISO/IEC 17025.1以及ISO 14577-22国际标准。
行业应用：材料、生物、化学、物理相关的政府检测机构、科研院所、高校和大型企业研究机构 。每年销售量超过50台。


测量数据
 模量
 硬度
 蠕变
 应力-应变曲线
 塑性指数
 塑性功/弹性功
 弹性模量/损耗模量/力学损耗(tan)
 纳米磨损性能
 纳米划痕临界载荷
 表面磨擦及形貌图
 粘结失效
 断裂韧性
 冲击性能
 接触疲劳强度
 金属,陶瓷,聚合物等材料的弹性性能.
 金属的位错现象.
 陶瓷的破裂现象.
 薄膜，骨，生物材料的机械性能.
 残余应力
 软金属和聚合物的由时间决定的机械性能.
 结合纳米压痕的IV曲线电学测试
 结合纳米压痕的压电力显微镜测试（详见PFM应用手册）
 力反馈 (应力控制)以及压痕深度(应力控制)
 力学实时分析
 力学 vs 位置
 恒幅载荷
 准静态实验法: 压痕蠕变, 应力松弛
 动态测试

 纳米压痕柔性铰链
两种柔性铰链可选：Standard and Low 
                                 

	标准型	微力型
弹性常数 (typ.)	4,000N/m	800N/m
质量	250mg	200mg
共振频率	700Hz	300Hz

力学分辨
1kHz 带宽下测试 

	标准型	微力型
载荷	20mN	4mN
力学噪音水平	75nN	15nN
位置噪音水平	0.3nm	0.3nm

                             
扫描范围
Z 范围: 15μm 标准, 40μm (可选).
荷载率 (Vlr ): 1μN/s <Vlr<10mN/s..
样品尺寸
小样品台: 12.7mm SEM 兼容样品台
中样品台: 2.0英寸样品台.
大样品台: 4.0英寸x 2.4英寸
样品台
微分尺驱动的机械样品台（可选马达驱动）
扫描轴
X-Y: 90μm 全行程闭环. 闭环传感器噪音<0.6nm (Adev)（ 0.1Hz-1kHz bandwidth (BW)）
非线性度全行程小于<0.5% (Adev/full travel)
Z: >15μm 闭环控制 (40μm 可选).
传感器噪音<0.3nm Adev （0.1Hz-1kHz BW ）
非线性度全行程<0.2% (Adev/full travel)
Z高度噪音 <0.06nm Adev,（ 0.1Hz-1kHz BW）.
软件
IGOR Pro by WaveMetrics出品的IGOR Pro数据处理软件,可以有客户自由编辑。 

系统包括了以下的Asylum’s ARC2™ 全数字控制器，用户可以根据自己要求选择底座(上视光路或者多光路底座), 可以选择标准型或者微力型头部, 两个金刚石压头 (one cube corner and one Berkovich) 、一个球形压头以及练习用压头。一个弹性系数校准器以及适应不同大小的样品台。