上海三研SYDC-300型浸渍提拉镀膜机
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上海三研SYDC-300型浸渍提拉镀膜机

Dip Coater


一.产品简介

    SYDC-300型浸渍提拉镀膜机是专门为液相法(是sol-gel法)制备纳米薄膜材料而设计。将洁净干燥的基片浸入镀膜溶液中,通过预先设置的参数,将浸渍后的基片以速度提拉起来,在基片上附着一层膜,称为“湿凝胶膜”,随着溶剂的挥发,膜层在基片上固化成为“干凝胶膜”。“干凝胶膜”经过进一步的干燥及高温热处理便得到所需的纳米薄膜材料。

    本产品采用全自动控制系统。提拉速度、提拉高度、浸渍时间、镀膜次数(多次多层镀膜)、镀膜间隔时间均连续可调、精密控制。运行稳定、工作时液面无振动,膜层均匀无条纹。对镀膜基质无要求,片状、块状、圆柱状等均可镀膜。

    适用于硅片、晶片、玻璃、陶瓷、金属等固体材料表面镀膜。应用于科学研究、产品生产。

二.产品特点

    1.近升级为瑞士原装的垂直提拉装置部件,采用特种功能材料制作,具有精密度高、传动无间隙、运行平滑、耐腐蚀、免维护、使用寿命长等特点。

    2.采用伺服电机驱动,配合瑞士原装的垂直提拉装置和程序控制系统,运行及稳定性,已消除提拉震动的效果,涂膜均匀。

    3.多参数全自动程序控制。共有六个参数设置:下降速度、浸渍时间、提拉速度、镀膜尺寸、镀膜次数、镀膜间隔时间,各参数均连续可调,精密控制。镀膜程序设定后,从下降到浸渍,再到提拉镀膜的整个镀膜过程全自动运行。

    4.采用箱体式设计,镀膜过程在密闭箱体内的恒定空气环境中进行,空气流动、微风吹动对膜层中溶剂挥发的影响,从而避免对膜层微观结构的影响。

    5.前门及侧门采用透明玻璃板制作,便于观察镀膜过程;

    6.可全自动运行镀膜,也可进入手动操作模式镀膜;

    7.7英寸触摸屏使控制操作更方便。运行时,各项参数实时显示,更直观了解镀膜进程;

    8.控制系统内置8GB容量内存,自动运行镀膜的各项参数实时储存,便于查询历史操作记录。

    9.高、低速均运行平稳,镀膜时液面无振动,使膜层更均匀、无条纹。

    10.设计的两面平口型夹具,夹口两面都有一层橡胶垫,夹持牢固且不会夹坏基片。

三.技术参数

    1.提拉速度范围:1~10000 μm/s,小分辨率1 μm/s;

    2.速度:-0.01%~+0.01%;

    3.提拉行程:370 mm(以实际为准);

    4.适用基片尺寸:MIN 10×10 mm,MAX 300×300 mm,厚度 MAX 10mm;

    5.浸渍时间:1~3600 s,小分辨率1s;

    6.镀膜次数:1~1000次,少1次;

    7.每次镀膜间隔时间:1~3600 s,小分辨率1s;

    8.电源:220V/50H;

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