x-ray膜厚测量仪可测元素范围：铝(AL) –铀(U)。
可测量厚度范围：原子序22-25，0.1-0.8μm26-40，0.05-35μm43-52，0.1-100μm72-82，0.05-5μm。
自动测量功能：编程测量，自定测量修正，测量功能。
底材修正：已知样品修正。

定性分析功能：光谱表示，光谱比较。

定量分析功能：合金成份，分析数据。

x-ray膜厚测量仪作为一种在线测量厚度的精密仪器，在电镀工艺生产中占有非常重要的地位，直接影响到电镀产品的质量。镀层控制系统接收到膜厚仪提供的实事厚度偏差信号对物料挤出机、物料加热器进行控制。信号的准确和灵敏程度直接影响了镀层产品厚度的。
x射线膜厚仪通过吧高压直流电压加在x射线的两极，产生不同能级的x射线穿过被测物，比较被测物两端x射线的强度来进行在线厚度测量。