ViewMM全自动光学三坐标影像测量仪的详细信息

• 分辨率：(ppm)
• 外形尺寸：**(mm)
• 准确度：——(%)
• 重量：(kg)
• 测量范围：——(m)

可追述至美国NIST标准的全自动光学三坐标影像测量仪ViewMM??View?Micro-Metrology全自动光学三坐标影像测量仪(ViewMM)是一家的光学测量设备供应商，生产适合过程工艺控制测量应用的全自动高光学三坐标影像测量系统&超高显微量测系统。??View?Micro-Metrology非接触式光学三坐标测量仪适用范围：
◆Flip?chip、BGQ、QFP、QFN、MCM等先进封装间距、线宽、角度、弧度、高度等尺寸测量
◆SMT组装装配、PCB&FPCB挠性电路等关键尺寸测量
◆?丝网印刷孔径、位置、厚度、角度等测量
◆Bump?on?die、Solder?Paste、?光纤关键尺寸测量
◆IC?&?LED封装引线架Leadframes、探针卡角度、间距、高度等测量
◆LED?SMD封装测量，包括胶高、间距等测量
◆PhotoMask、MEMS晶圆级检测、关键尺寸测量等应用?
?Pinnacle?250????????????????◆测量范围(XYZ)：250?x?150?x100?mm
?◆测量：E2?(XY)?=?(2.0?+5L/1000)um，E1(Z)?=?(3.0?+5L/1000)um，L：测量长度mm
?◆LED背光、LED同轴表面光◆承载力：25kg?Pinnacle?250?应用范围：微小、紧公差部件，高密度特征尺寸部件，像硬盘驱动臂、打印头、精密冲压件以及芯片级封装等。
View?Micro-Metrology可选配件：
◆?多倍率物镜
◆?程控多色环形光源
◆Rochi?Grid自动聚焦
◆?激光探针TTL?
◆?百万像素数字CCD??View?Micro-Metrology光学显微测量系统：
View?Micro-Metrology(Viewmm)超高光学显微测量系统MicroLine和Precis200主要用于测量半导体、MEMS晶圆、硬盘磁头滑动装置以及光刻掩模板之CD(线宽、间距、高度等)和涂覆物(多层套刻、圆、对接误差以及边缘粗糙度等)量测。
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