矽翔微机电系统(上海)有限公司成都分公司
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FS1015系列微机电气体质量流量传感器是专门为各类医学用气体的测量和过程控制而设计的。产品采用本公司自主研发的微机电系统(MEMS)流量传感芯片来制作,适用于各类清洁气体。成本低、易安装、不需要温度和压力补偿,可替代容积式或压差式的传统流量计。FS1015
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