MicroESystemsMII 6000光栅尺
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本公司供应MicroESystemsMII 6000光栅尺质量保证,欢迎咨询洽谈。
性能毫不妥协,安装极其方便,同类产品功耗。
MERCURY II6000光栅系统中读数头小,高,同一读数头可选金属光栅尺或玻璃光栅尺。
可编程的分辨率:
线性分辨率5UM-1.2NM
旋转分辨率可达168MCPR
输出:A-quad-B数字信号或SSI高速串行接口
光栅尺:20UM栅距直线金属或玻璃光栅尺,圆形玻璃光栅尺
MercuryII6000真空系列产品可选,符合高真空要求10-8托