产品品牌：

Filmetrics

产品型号：

F30

测量范围：

15nm-250μm

 

薄膜测量领域的#1品牌

F30 监控薄膜沉积速率的强大工具

F30可以对薄膜的沉积率、膜厚、光学常数（n和k值），半导体和电介质的均匀性进行实习的检测。

可测样品膜层：

在MBE(分子束外延)和MOCVD(金属有机化合物化学气相淀积)技术中，F30对光滑的，半透明的或轻度吸光的膜层都可能实现测量。这实际上包括了从AIGaN(氮化镓铝)到GaInAsP(镓铟磷砷)的所有半导体材料。

 

优势：

安装简便—几分钟即可完成系统安装

非侵入式测量—测量完全在晶体沉积腔外

速度快—仅需几秒钟即可完成测量高—误差低于+/-1%

低成本—几个月即可收回成本

使用方便—极大的提高了生产速度

 

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