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硅芯电阻测试仪
硅芯电阻率测试仪是按照我国国家标准GB/T1551-1995及美国材料与试验协会（ASTM）推荐的材料验收检测方法设计。它适合于测量横截面面积均匀的圆型，方型或矩形单晶锭的电阻率，在硅芯、检验棒电阻率测量上测量准确。由于硅芯电阻率测试仪的测量电流是从长棒两端进出，远离电压测量探针，因此减少了电流流过金属与半导体接触处产生的许多副效应，如珀尔帖效应、塞贝克效应、少子注入效应等，使得测量大大提高。 |
| 产品特点 |
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本仪器主要由电气测量部份（简称：主机）、测试台及两探针头组成。仪器的特点是主机配置双数字表，在测量电阻率的同时，另一块数字表（以万分之几的）适时监测全程的电流变化，免除了测量电流/测量电阻率的转换，更及时掌控测量电流。主机还提供为0.05%的恒流源，使测量电流高度稳定。本机配有恒流开关，在测量某些材料时，可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生，更好地保护被测材料。仪器配置“小游移探针头”，间距为1.59mm的两探针头探针游移率在0.2%以下。保证了仪器测量电阻率的重复性的准确度。本机配用测量软件，设计语言为VC++，可对四探针、两探针电阻率测量数据进行处理并修正测量数据，特定数据存储格式，显示变化曲线、正反向电阻率平均值、电阻率的值、电阻率小值，给测量带来很大方便。
兼容性：适用于通用电脑，支持Windows XP、Vista。 |
| 技术参数 |
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测量范围
■ 可测硅晶体电阻率：0.005-50000Ω·cm
■ 可测硅棒尺寸：长度300mm；直径20mm（均可按用户要求更改）。 |
恒流源
■ 输出电流：DC0.001-100mA 五档连续可调
■ 量程：
0.001-0.01mA（1-10μA）
0.01-0.1mA（10-100μA）
0.1-1.0mA
1.0-10mA
10-100mA
■ 恒流：各档均优于±0.05% |
直流数字电压表
■ 测量范围：0-199.99mV
■ 灵敏度：10μA
■ 基本误差：±（0.004%读数±0.01%满度）
■ 输入阻抗：≥0.3% |
电阻测量误差
■ 误差：≤0.3% |
探针参数
■ 两探针头
■ 探针间距：1.59±0.01mm 探针直径Φ0.8mm
■ 游移率：＜0.2% 探针材料：硬质合金（WC）
■ 探针压力：3±1N/单针 |
供电电源
■ AC 220V ±10% 50/60 Hz. 功率：12W |
使用环境
■ 温度：23±2℃ 相对温度：≤65%
■ 无较强的电场干扰，无强光直接照射。 |
重量、体积
■ 主机重量：7.5Kg |
