AX10FD热式气体质量流量计 AX10FD
质量流量控制器 （Mass Flow Controller 缩写为 MFC） 用于对气体的质量流量进
行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、是有
工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用
场合包括 ： 电子工艺设备 ， 如扩散 、 外延 、 CVD 、 氧化 、 等离子刻蚀 、 溅射 、 离子注入 ；
以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及
其他分析仪器
1. 2 主要技术指标
1 量程范围 （ 20,30,50,100,200,300,500 ） SCCM
（ 0~1,2,3,5,10 ） SLM
2 准确度 + 1.5%F.S
3 线性 + 0.5~1.5%F.S
4 重复 + 0.2%F.S
5 响应时间 电特性： 10sec 气特性：（ 1~4 ） sec
6 工作压差 0.1~0.5MPa
7 耐压 3M p a 6M p a 10M p a
8 工作环境温度 0~70 ℃
9 数字量 RS485 MODBUS 协议
10 模拟量 DC 0~5V ， 4~20mA 可选
11 供电 DC +15V/24V 可选，流量计＜ 50mA ，控制器＜ 200mA
12 电气连接 DB15
13 漏率 1 × 10 
-8
SCCSHe
14 底座材质 316L 不锈钢
15 密封材质 氟橡胶，丁晴橡胶，氯丁橡胶
16 气路街头 Φ 3 ， Φ 6 ， Φ 10 ， 1/8 〞 ,1/4 〞， 3/8 〞
注意 :
质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气 （N ） 标定 .
质量流量的单位规定为 :SCCM （ 标准毫升 / 分 ）; SLM （ 标准升 / 分 ）
标准状态规定为： 温度 －－－－-273.15K （0 ℃ ）;
气压 －－－－-101325 Pa （ 760mm Hg ）
F . S （Full Scale）; 满量程值
1.3 工作原理
AX10FD 系列气体质量流量控制器卓越的 、 坚固性及可靠性源于我公司独特的
传感器探头。该密封探头由两传感元件组成 ── 速度传感器及温度传感器，能自动校
正温度及压力变化产生的影响。仪表电路将速度传感器加热到高于气体温度的一个常
数值，然后测量气体流量的冷却效果。通过测量保持恒定温差所消耗的电功率与气体
的质量流量成正比的原理计算流量 。 两传感器均为标准级白金电阻温度探测器 （ RTD ） 。
白金 RTD 丝缠绕在坚固的陶瓷芯轴上 ， 牢固且可靠 。 整个传感器密封在 316 不锈钢包
装壳内。