SHI-APD冷凝泵/低温泵
价格:电议
地区:北京市
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 SHI APD公司的Marathon® CP系列低温泵专门设计用于高真空系统。因其洁净无污染、效率高、抽速大、高可靠性等突出优势,被广泛的应用于科学研究实验室、乃至工业生产等众多领域,如半导体材料制作、平板显示器生产/测试设备、太阳能制造业、真空镀膜、热真空系统等。     

低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵,又称冷凝泵。低温泵是获得清洁真空的极限压力、抽气速率的真空泵,广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产,以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。        

 CP-8
低温泵
CP-8LP
低温泵
CP-250LP
低温泵
CP-12
低温泵
CP-16
低温泵
CP-20
低温泵
SICERA 8"
低温泵
SICERA 12"
低温泵

抽速
(升/秒)

空气15001800306036004800970015003300
水蒸汽420042006300986017,30029,10040009500
氩气12501500250031004100830012002700
氢气230030005000730012,00014,00022006000
吞吐量氩气(托-升/秒)11111112.611.41.38.98.9
氩气8708708701000900900700700
(sccm)        
吸附能力(标升)氩气@12001600160031005500600010002000
1 x 10-6 托        
氢气@2525255050331230
5 x 10-6托        
Crossover (托-升)220220220650500400150150
降温时间 (分钟)7511011090135190120150
接口法兰ANSI6"6"N/A10"N/A20"N/AN/A
ISO200 mm200 mm250 mm320 mm400 mm500 mmN/AN/A
Metal Seal (Conflat)10"10"N/AN/AN/AN/A253 mm 
CVCN/AN/AN/A10"10"N/AN/AN/A