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产品属性
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| 机器测量范围 | |||
| 机型 | C1710SD3-12 | S1500SD3-12 | |
| 轮廓仪 | 粗糙度仪 | ||
| Z轴(纵方向) | 50mm | ±500μm | |
| X轴(横方向) | 100mm | 100mm | |
| Z轴指示 | ±(1.8+|2H|/100)μm H:测量高度 | - | |
| 测定分辨率 | 0.1μm/50mm | 1000μm/0.01μm – 6.4μm/0.0001μm | |
| X轴指示 | ±(1+0.01L)μm L为测量长度(mm) | - | |
| 测定分辨率 | 0.016μm | 100mm/0.04μm 或32,000点 | |
| 直线 | 1μm/100mm | (0.05 +1L/1000)μm L=测量长度(mm) | |
| 记录 | 纵倍率 | 0.01--10,000,000倍(可任意选择或自动选择) | 50--500,000倍(可任意选择或自动选择) |
| 横倍率 | 0.01--10,000,000倍(可任意选择或自动选择) | 0.1--20,000倍(可任意选择或自动选择) | |
| 速度 | 立柱上下(电动) | 3--10mm/s | 3--10mm/s |
| 驱动速度(X轴) | 0.03--60mm/s | 0.03--60mm/s | |
| 测量速度(X轴) | 0.03--20mm/s | 0.03--20mm/s | |
| 传感器 | Z轴(纵方向) | 光栅尺 | 差动变压 |
| X轴(横方向) | 光栅尺 | 光栅尺 | |
| 小测量距离 | 0.1μm | ? | |
| 测量点数 | 100,000点(多10形状) | 32,000点 | |
| 测针半径 | 25μmR | 2μmR | |
| 测针材质 | 超硬合金 | 金刚石 | |
| 测量力 | 30mN以下 | 0.75mN | |
| 测量方向 | 左、右 | 向右 | |
| 测量形式 | 上、下 | - | |
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