技术参数：

XY整体式两维平移台：

1.型号：ETSM-100R-2

2.行程：100mm*100mm

3.导轨：交叉滚柱

4.丝杠：TBI 滚珠丝杠，导程2mm；

5.驱动元件：28 步进电机

6.保护：两个极限限位开关；

7.负载：20kg

8.重复性：±1um

Z轴平移台：

1.型号：ETSM-100R

2.行程：100mm

3.导轨：HIWIN 方导轨

4.丝杠：TBI 滚珠丝杠，导程2mm；

5.驱动元件：42 步进电机

6.保护：两个极限限位开关；

7.防尘：天瑞中海全封闭防尘结构；

8.负载：5kg

9.重复性：±1um

一、产品特点：

1.显微镜实现全自动，配套相应的软件可以实现完全自动化

2.体积小巧，可以放在任意的桌子上，方便在各种场合使用

3.外观漂亮，同时采用了我们的防尘，增加寿命和美观度

4.达到目前同类产品的上游水平

5.价格控制较低

二、应用领域：生物实验，医疗实验，通用工业显微镜，半导体检测，激光雕刻，学生课题，科研等领域