为了提供一种快速、可靠的在未切割的晶圆片上获得力学数据的方法，我们的工程师开发出一种强大的解决方案— NANO Indenter XPW。配备一个可以支持试样直径达300毫米的样品台，该产品基本上可以满足所有的工业需求。

基于业已成熟的 NANO Indenter 技术，XPW 对表面的表征可以达到几个纳米的量级。该尺度上的性质，例如硬度与弹性模量对半导体装置的产量、效能及寿命有着显著的影响。作为一个独特的系统，产品具有实用设计 、易于使用、简化测试的软件接口、以及快速、简洁的样品装载特点。采用23位电子仪器及超常的数据采集速率，NANO Indenter XPW为您提供在仪器化纳米压痕系统上可获得的准确的数据。

类似于其它纳米压痕系统，XPW 使用金刚石压头产生一个可控的压痕。随着连续监测压头的位移数值，设备产品可提供测试样品的硬度、杨氏模量、断裂韧性以及其它力学性质和数据计算等。
 

Nano Indenter XPW 能够配置可选真空样品固定系统，这里显示的是一个6英寸的晶圆片样品台。
 

NANO Indenter XPW 采用软件控制，使用简单。操作人员仅仅需要决定在什么位置压痕，以及进行什么样的实验。XPW 就可以自动进行实验测试，确保每个测试是一致的、合理的并且是准确的。

系统部件
 

• NANO Indenter XPW 测试系统包括以下元件：
   

• 压痕组元
   

• 带鼠标控制的机械化样品操作台
   

• 振动隔离台及环境隔离
   

• 光学成像系统
   

• 带帧取样软件的像机
   

• 预置金刚石压头(Berkovich)
   

• 软件控制、自动定位
   

• 包括计算机、监视器、键盘以及全自动的数据采集与控制系统(基于 Windows 系统)
   

• 全套 TestWorks 操作与数据分析软件
   

• 彩色喷墨打印机
   

特色与优势
 

• 快速、准确的纳米力学表征
   

• 快速、准确生成实时的测试结果
   

• 无需切割，节省时间与成本
   

• 全自动测试－仪器运行无需照管
   

• 自动以 Microsoft Word 和 Microsoft Excel 格式测试结果