美国瓦里安检漏仪
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氦质谱检漏仪

1972 年由瓦里安公司首先在氦质谱检漏仪的设计中提出了逆流式的概念,使得目前的氦质谱检漏仪全部采用逆流式的方法进行检漏。

瓦里安的发明之一,优点在于:

 

·极大的排气量

·前级耐压高达 18mbar

·压缩比提高了几个数量级却丝毫不增加泵的体积和重量,对质量轻的气体更为显著。

 

VS系列氦质谱检漏仪

特性及优点

·多种语言和计量单位选择,可选中文界面

 

·135o 电离偏转 (自然聚焦点)的全新质谱技术,金属密封结构

·新的电子线路及信号处理设计

·小可检漏率高、灵敏度覆盖范围可达12个量程

·快速清氦和快速响应

·测试口耐压高,可实现大漏检漏

 

性能指标

PR02

MR15&MD30

性能

前级泵内置式

前级泵外置式及小车

前级泵        油式机械泵

DS-42 2 m3/hr (34 l/m)

DS-302 14 m3/hr (232 l/m)

涡卷式干泵

N/A

TS-620 30 m3/hr (500 l/m)

小可检漏率在1000ppm的氦气背景下

5×10-12 atm cc/sec 5×10-12 mbar l/s5×10-13 Pa m3/sec helium

测试口耐压

16 mbar12 Torr1600 Pa

测试口处对氦气抽速

1.8 l/s

校准程序

自动或手动(内置或外置)

氦本底清零

按键清零,并具有零点追踪功能

操作界面

高清晰彩显,TFT触摸屏

语言选择

中文/英语/法语/德语/日语/韩语/西班牙语

循环检测

可编程粗抽时间/测试时间,设置报废点

响应时间

1.0

设定点

标准;5个设定点;常开或常闭;3个漏率点;1个压强点;1个声讯点

通讯协议

RS-232 通讯借口,9600波特率(9芯窜口)

执行标准

ULCECSA

品牌/商标

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