FX.FG系列分子机组江苏南京智拓仪器提供
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FX型系列分子泵机组是分子泵,前级机械泵,隔断放气阀,前级管路、分子泵电源,控制电源等组装于机架而成的清洁超高真空获得设备。安装方便,操作简单,易于联接,性能可靠,可广泛用于表面分析,加速器技术,半导体设备,等离子体技术,电真空器件的制造及真空技术各领域。

FX分子泵机组技术性能:

产品型号       FX-110   FX-620

进气口法兰    DN100LF/DN100CF     DN160LF/DN160CF

抽气速率L/S(对空气)     110      600

压缩比??? N2

????????? H2   108

5×102    109

6×103

极限压强(Pa    6×10-6/6×10-7    6×10-6/6×10-7

排气口法兰    KF25      KF40

使用轴承       精密机械轴承       精密轴承

输入电压频率(V/Hz       220±20/50    380±20/50

环境温度(℃)    040     040

前级泵型号    TRP-4     TRP-6

启动时间(min  3  5

额定工作转数(rpm 42300  27000

冷却方式       水冷可风冷    水冷

安装方式       任意       任意

重量(公斤)       52    -

长×宽×高    500×510×685     -

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