产品说明

SI-MF840四通道可编程流量控制仪，采用先进的高频PWM开关、微电脑控制技术、完善的控制技术及先进的电路设计技术研发设计，用于磁控溅射镀膜、多弧镀膜及各种CVD镀膜设备中，用于气体流量控制，使得气体流量按预先编制的曲线进行控制，完成繁杂的气体流量控制过程。具体功能如下：

1) 气体流量按编制好的流量曲线进行控制，单工艺编程步数可达1000步，每步编程时间为60000S（16.6小时）；
2) 本机内存10个工艺参数；
3) 具有RS232或RS485计算机通讯接口，可远程监控。可用计算机软件编辑工艺，及上传。
4) 控制高，输出可达0.1%，显示分辨率 ±1字；
5) 多种多重智能保护及故障检测功能，运行可靠性高；
6) 自动调零功能：控制仪可对流量控制器进行自动调零，方便操作；
7) 控制接口双极性输出，可适应国内外各种型号的流量控制器；
8) LED、LCD双显示，显示直观，操作界面友好。
9) 体积小重量轻。外形尺寸483 x 89 x 100；
10) 轻触按键+飞梭旋钮控制，操作简单、使用方便