均匀化真空炉的主要技术数据
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型号 均温区尺寸 温度 ( ℃ ) 极限压力 (pa) 压升率 (pa/h) 均温性 ( ℃ ) 立式 Φ 1300 8.5×10-3 0.5 ±5 立式 Φ 1300 8.5×10-3 0.5 ±5 立式 Φ 1300 8.5×10-3 0.5 ±5