Kosaka系列接触式台阶仪采用电感位移传感器作为敏感元件，具有再现性与线性度、高解析度、低测定力、超高真直度等显著优点。广泛用于机械、材料、化学、光电和半导体的研究和生产领域。

     大连瑞闻科技有限公司是日本Kosaka台阶仪的代理商，为您提供Kosaka各种型号接触式台阶仪。下面以普通型ET200型加以说明。

    ET200是一款性价比很高的接触式台阶仪，主要性能指标如下：

1、测定工件要求

尺寸：Ф160mm

厚度：50mm

重量：2kg

2、检测器                                               

（1）Z方向测定范围：Max. 600μm

（2）Z方向分解能力：0.1nm

（3）测定力：min.1mgf,max.50mgf

(4)触针半径：2μm

（5）驱动方式：直动式

（6）再现性：1σ= 1nm

3、X轴(基准轴)

（1）移动量(大测长)：100mm

（2）移动的真直度：0.2μm/100mm

（3）移动、测定速度：0.02 ~ 10mm/s

（4）线性度：分解能力0.1μm

4、Z轴                                                                  

（1）移动量：50mm

（2）移动速度：max.2mm/S

（3）检测器自动停止功能

（4）分解能力：0.2μm

5、工件台

（1）工件台尺寸：Ф160mm

（2）机械手动倾斜量：±1mm/150mm

6、工件观察：max.110倍(可选购其它高倍率CCD)

7、床台：材质为花岗岩石

8、防振台(选购)：落地型或桌上型

9、电源：AC100V±10%，50/60HZ, 300VA

10、外观尺寸及重量：W494×D458×H610mm, 120kg(不含防振台)