半导体材料气体泄漏探测器 XP-703D
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地区:上海市
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图文详情
产品属性
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品牌 | COSMOS | 型号 | XP-703D |
测量范围 | 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 ppm | 测量对象 | 砷化三氢AsH3、 磷化氢PH3、 乙硼烷B2H6、 硅烷SiH4、 氢气H2 等半导体材料气体 |
测量 | 1.0×10-7 1.5×10-7 0.5×10-7 2.5×10-7 5×10-7 Pa.m3 /s | 尺寸 | W68×H155×D32(mm) |
重量 | 约 400g(kg) | 电源 | 5号锰干电池4节※1 |
气体泄漏探测器 XP-703D(半导体材料气体用)
特长
﹡适用于半导体材料气体的超微量泄漏检测。
﹡通过报警灯及蜂鸣器即可得知气体泄漏。
规格
型 号 | XP-703D |
检测原理 | 热线型半导体式 |
对象气体 | 砷化三氢AsH3、 磷化氢PH3、 乙硼烷B2H6、 硅烷SiH4、 氢气H2 等半导体材料气体 |
能检测的泄漏量 | 1.0×10-7 1.5×10-7 0.5×10-7 2.5×10-7 5×10-7 Pa.m3 /s |
能检测的浓度 | 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 ppm |
应答时间 | 10秒 |
检测表示 | 蜂鸣器发出断续音且警报灯闪烁 |
电源 | 5号锰干电池4节※1 |
电池使用时间 | 使用碱性干电池使用约9小时(使用锰干电池约3小时) |
使用温度范围 | 0℃~ 40℃ |
外形尺寸 | W68×H155×D32㎜ |
重量 | 约 400g |
附件 | 皮套、排放过滤器、过滤片、检查气体、 标准附属品、5号锰干电池4本 |
另售的选购件 | Ni-Cd 电池专用充电器、耳机 |
※1 也可使用碱性干电池、Ni-Cd 电池。