美国MKS DELTA 流量比例控制器
价格:电议
地区:辽宁省
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手 机:13842679087
传 真:86 0411 62789510
品牌美国mks型号DELTA流量比例控制器
测量范围500SCCM到1000SCCM测量5%
产品适用范围各种气体

大连瑞闻科技有限公司为您提供、高质量美国MKS流量测量和控制产品!

DELTA 流量比例控制器能够是您获得的工艺性能,它具有以下显著特点:

1、广泛用于需要不同流量的分离设备,如刻蚀、去胶和PECVD等,可将目的气体按照设定比例输送到同一反应器的不同区域.

2、大量程范围的流量(500/500sccm到10,000/10,000sccm)可供选择.

3、该设备在工作中保持一个低于大气压的管道压力,因而通常不需要特殊的防漏措施。