半导体材料气测部PS-7系列
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图文详情
产品属性
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| 类型 | 气体泄漏检测仪 | 品牌 | COSMOS |
| 型号 | PS-7 |
| 特点 | |
| 带有气体采样流量自动控制功能 | |
| LCD显示,现场状态一目了然 | |
| 实现小型、轻量化 | |
| 可简单地更换传感器和采样气路 | |
| 带有防止传感器单元错误插入的功能 | |
| 可以设定多样的维护模式 | |
| 组合对应热分解单元与定电位电解式传感器,能检测NF3等 | |
| 实现了用PDA读取数据 | |
| 符合CE规格,SEMI规格 | |
| 型号 | PS-7 |
| 检测原理 | 定电位电解式、热丝型半导体式、隔膜电流电池式 |
| 热分解+定电位电解式 | |
| 采样方式 | 泵吸引式(0.5L/min吸引流量自动控制) |
| 采样配管 | 特氟隆外径6内径4mm、配管距离在20m以内 |
| 气体浓度显示 | 液晶数字四位显示(附带单位)20分割条形图 |
| 报警接点 | 气体报警(1段以及二级)报警、红色液晶指示灯闪烁、液晶画面第1段ALARM1第1段ALARM1 ALARM2显示 |
| 流量降低报警堵塞指示显示:流量显示为低速运转报警:黄色LED指示灯闪烁:液晶画面FLOW显示以及流量显示为停止运转状态 | |
| 传感器故障报警/传感器误插入报警报警:黄色LED指示灯闪烁:液晶画面SENS.显示•热分解炉断线报警报警:黄色LED指示灯闪烁:液晶画面CONV.显示 | |
| 外部输出 | 气体浓度模拟输出DC4~20mA(与电源的负极通用)气体报警接点(1段以及两极)1a无电压接点/自动复位故障报警接点(开路集电极/自动复位) |
| 适合电缆线 | 控制用屏幕电缆线(Φ8~11mm)x2 3芯或者4芯使用温度湿度范围0℃~40℃(但是不能有剧烈的温度变化)、30~85%RH(但不能结露) |
| 使用电源 | DC24V±10% |
| 消耗电力 | 约7w |
| 尺寸 | W62xH124xD143mm(除去突起物) |
| W62xH124xD143mm(除去选购件和突起物) | |
| 重量 | 约1.0kg |
| 安装方法 | 壁挂式 |