MDC-360C型膜厚控制仪

主要特性

?         可同时六个探头进行监测，探头/晶片的自动转换

?         编程菜单更具有易用性

?        16路输入和输出使得系统更易实现自动化

?         可以储存多达99种工艺过程，999种定义膜层和32种完整定义的材料

?         可支持6路源极输出

?         多重速率爬升

?         中止过程的自动恢复功能

?         内置材料数据库

?         可命名的工艺过程、材料和输出，易于识别

技术指标

?         频率分辨率   在6.0 MHz时0.03 Hz

?         质量分辨率    0.375 ng/cm2

?         感应晶片频率  2.5, 3, 5, 6, 9.5, 10 MHz

?         膜厚显示      0.000～999.9 K?

?         成膜速率      00.0～999 Ang/sec (0~9.99μm/min)

?         膜层数量      1～999

?         图形显示      256×64 LCD，CCFL背景照明