仪器型号

VMS-3020CNC

VMS-4030CNC

VMS-5030CNC

工 

作

台

金属台尺寸(mm)

玻璃台尺寸(mm)

运动行程(mm)

仪器重量(kg)

外形尺寸(长×宽×高) (mm)

500×330

350×280

300×200

140

540×560×850

606×466

450×350

400×300

240

760×600×900

700×450

550×350

500×300

500

970×670×940

X.Y、Z数显分辨率   0.001mm                                   X.Y坐标示值误差 ≤（3+L/200)µm

电   机

三轴运动速度 100mm/s                         三轴定位  0.001mm

影像系统

摄像机      日本CCD               变焦物镜倍率    0.7~4.5X

仪器重量

电   源

消耗功率

146kg

AC220V/AC110V

∠100W（不包括电脑）

仪器选配件：

仪器配件      1X镜筒（标配）      0.5X镜筒（选配）

变焦镜        0.7X～4.5X            0.7X～4.5X

附加镜

视频倍率

物方视场（mm）

视频倍率

物方视场（mm）

工作距离（mm）

0.5x（选）

15X～115X

20～3.2

7.5X～57.5X

40～6.4

175

标   配

30X～230X

10.6～1.6

15X～115X

20～3.2

92

2X（选 ）

60X～460X

5～0.8

30X～230X

10～1.6

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