平面干涉仪

1、仪器规格参数表

（附注：更大口径平面干涉仪可依据客户需求定制）

2、仪器特点

• 高

标准镜高，且材料经过精密退火处理，稳定可靠；

• 调整方便

可通过切换开关选择对准与干涉场两种显示模式，方便调整；

• 条纹真实

可调节共轭成像位置，得到清晰、准确、真实的干涉条纹；

• 性能优良

仪器具备良好的隔振性能，适合光学加工现场使用；

• 配件丰富

选配简易密封罩，可将测试腔与外界气流隔离，降低测试过程中气流扰动，提高判断的准确性。

3、仪器操作流程
3.1、基本操作

• 仪器初始化

开机后稳定15分钟，使激光器模式稳定；将仪器右侧的转换开关切换至“对准调整”显示模式，确保标准镜反射光点位于十字叉丝中央。

• 光路粗调

将待测元件放置于载物台上，将转换开关切换至“对准调整”显示模式，调整载物台的两维角度调节旋钮，使待测面反射光点与标准镜反射光点在十字叉丝中心重合。

• 光路精调

将转换开关切换至“干涉图”显示模式，此时监视器上已经可以显示出密集的干涉条纹，微调标准镜调整架的两维角度调节旋钮，将视场内的干涉条纹调整至3~5根。

• 条纹判读

依据GB 2831-81（光学零件的面形偏差检验方法），并结合我们为客户特别制作的“干涉图与波像差对比图”（见附录），进行条纹判读。

3.2、特殊操作

• 干涉图清晰度调节

通过调整标准镜旁边的“共轭调节旋钮”，使干涉图清晰的显示在监视器上。仪器在出厂之前已经校正到成像位置，一般情况下不需要进行重新调整。

• 干涉图对比度调节

当待测表面镀高反膜时，干涉条纹对比度会较差，此时推荐选配衰减过滤片，将其插入待测元件与标准镜之间衰减光强，可获得良好的条纹对比度。