双频激光干涉仪主要用作计量中的长度基准，随着机床的不断提高，激光干涉仪现已成检定数控机床、坐标测量机位置的理想工具。同时双频激光干涉仪又是一种高的位移传感器，可直接安装在高机床及坐标测量机上，作为坐标系统，大大提高机床及坐标机的定位。除了长度测量外，仪器可根据用户需要配置各种光学附件，测量小角度、平面度、直线度、平行度、垂直度等形位误差；还可按预定的间距自动完成检测和精密刻划的工作，因此双频激光干涉仪在微电子加工以及纳米测量上有不可替代的作用。

提供成都科丰芯缘KF-A型双频激光干涉仪-技术指标

分辨率：     0.02μm    

 测量速度：   300mm/s                                                                        淘宝导购

测量距离：   25m   

提供成都科丰芯缘KF-A型双频激光干涉仪-仪器波长补偿系统：

                大气压力            空气温度        材料温度

测量范围：    300～1100mba      0～40℃          0～40℃

分辨率：      0.1mba              0.01℃         0.001℃（或0.03℃）

精   度：     ±0.5mba             ±0.2℃      ±0.05℃（或0.06℃）.