类型	白光干涉仪	品牌	SNU
型号	SIS 2000	品种	其他干涉仪
测量范围	200×200×100（mm）	测量分辨率	0.1nm
用途	TFT产业、半导体、MEMS、高校科研、精密加工

基本信息

品牌：	SNU	型号：	SIS 2000	操作方式：	自动
功能：	检测、观察、分析	：	1nm
其它型号：	SIS 1200

产品介绍    白光干涉仪SIS系列采用增加相位扫描干涉技术，是专为准确测量表面轮廓、粗糙度、台阶高度和其他表面参数而设计的微纳米测量系统,，为韩国SAMSUNG指定供应商，LPL友好俱乐部成员，清华大学，台湾大学，首尔大学友好合作伙伴。产品特点1、非接触式测量：避免物件受损。
2、三维表面测量：表面高度测量范围为1nm-200μm。
3、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。
4、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达到0.1nm。
5、高速数字信号处理器：实现测量仅需要几秒钟。
6、扫描仪：采用闭环控制系统。
7、工作台：气动装置、抗震、抗压。
8、测量软件：基于windows 操作系统的用户界面，强大而快速的运算。
技术参数

机型		SIS 2000
工作台	尺寸	350mm×350mm
	倾斜度	±3°
测量行程		X:200mm  Y:200mm
Z轴行程		100mm
运动方式		自动，马达驱动
扫描速度		30μm/sec
垂直分辨率		0.1nm
CCD		黑白CCD，640×480像素
物镜安装架		手动5个位移的可定位夹具
镜头选配		镜头：5×、10×、20×、50×

应用领域1、TFT产业
2、半导体
3、MEMS
4、高校科研
5、精密加工