儀器規格參數
仪 器 类 型 CW-3015(Z) CW-3020(Z) CW-3025(Z)
工作台 金屬臺面尺寸(mm) 340 × 152 450 × 280 450× 280
玻璃臺面尺寸(mm) 196 × 96 306 × 196 306× 196
X座標行程(mm)50
Y座標行程(mm)0
Z座標行程(mm) 90 (調焦) 100 (調焦) 100 (調焦)
儀器測量(μm) 4+L/50 3+L/75 3+L/75
X，Y座標數顯解析度   0.001
投影屏 投影屏尺寸（mm）   Ø３１２，使用範圍＞Ø３００　（刻有米字線）
投影屏旋轉範圍   ０～３６０°
旋轉角度數顯解析度   １’ 或 ０．０１°
物 鏡 放大倍數   １０X(必備)　　２０X(選) 　  ５０X (選) 　　１００X (選)
物方線視場（mm）        Ø30　           Ø15             Ø6　　           Ø3
物方工作距（mm）        77.7