类型	电子显微镜	品牌	日本电子
型号	IB-09010CP

凝聚了日本电子公司科技人员多年的梦想与实践

• 不管是用机械研磨法难以制备的样品，还是软硬材质混合的复合材料，都能够制备出光滑的截面。
• 可以获得平滑的镜面抛光效果。与机械研磨法相比，使用截面抛光仪（CP）制备的样品变形小、晶体结构不易破坏，因而适合于晶体取向分析（EBSD）的前处理。
• 能够制备出宽度大约为1mm的大截面。
  非常适合于镀层及电子元件的失效分析。
• 采用触控式面板，操作简单。

IB-09010CP的特点

• 彩色液晶触控式面板操作:彩色液晶屏显示加工条件，一目了然。通过触摸屏即可设定加工条件。
  
• 标准配置的CCD相机，用于确定加工位置:屏幕画面便于观察，容易对准加工位置。
  
• 离子加速电压　为８ｋV （选配）:提高了研磨速度。标准的加速电压为６ｋV。

SEM应用图例

纸张截面

使用剃刀片等制作纸张截面时，纸纤维的损伤无法避免。从图中可以看出，使用CP制备的截面损伤较小。
CP制备的截面（背散射电子图像）	C Kα (EDS)
Si Kα (EDS)	Ca Kα (EDS)

金线焊接

制备金等软质材料的截面样品时不会对其造成损伤，另外它还适合于对焊接结合部的焊点进行评估。采用传统机械研磨法制备样品会损坏焊点，研磨的磨料嵌入金内部甚至会引起界面层剥离，形成研磨损伤，而采用截面抛光仪（CP）制备截面样品则能避免这类损伤。

背散射电子图像

背散射电子图像

主要技术规格

离子加速电压离子束直径研磨速度搭载样品尺寸样品移动范围样品旋转角度调节范围样品加工摆角操作方法使用气体压力测试主抽真空装置辅抽真空装置尺寸/重量机械泵选配件

2～6kV

500μm(FWHM)

100μm/H (2小时的平均值，加速电压:6kV，硅换算， 边缘距离:100μm)

11mm（宽）×10mm（长）×2mm（厚）

X轴 ±10mm Y轴 ±10mm

±5º

±30º(申请中)

触控式面板

氩气(由质量流量控制器控制流量)

潘宁真空计

涡轮分子泵

机械泵

主机 545 mm(宽)×550 mm(长)×420 mm(高) 64kg

150 mm(宽)×427 mm(长)×230.5 mm(高) 16kg

加速电压8 kV 单元 旋转样品台 高定位CCD相机

安装条件

电源地线氩气室温湿度

单相100～120V±10%、50/60Hz、0.5～0.6kVA

独立地线(100Ω以下)

使用圧力: 0.15±0.05MPa(1.0～2.0kg/cm²) 纯度高于99.9999%(氩气、气瓶及调压器由客户自行准备。) 胶管接头: JIS B0203 Rc 1/4

20～25℃(变动: 1℃/h以内)

小于60%