分辨率可达纳米级，主要应用于超精密机床、测量机和比较仪、测量显微镜、电子工业和半导体工业中的测量设备等其它精密仪器。主要技术指标： *栅距：0.02mm（50线对/mm）；0.01mm（100线对/mm） *：0.002mm；0.004mm *响应速度：60m/min *输出信号：A、B两路脉冲，相位差90度 *量程：0-900mm *工作电压：5V（100mA） *信号波型：正弦波