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双频激光干涉仪
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地区：上海市
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上海贝丁汉工业自动化设备有限公司

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在德国，耶拿地区以生产蔡司光学产品而闻名。位于该地区的耶拿尔（JENAer）公司生产的ZLM700双频激光干涉仪在同类产品中，由于具有独特的性能优势和简单的操作方法而久负盛名。由本公司代理，德国耶拿尔JENAer公司生产的双频激光干涉仪是真正意义上的双频干涉仪，并非单频干涉原理。

产品功能
     定位、重复定位、位移距离测量、速度加速度测量、线性度、直线度、垂直度、平面度、偏摆角、俯仰角、滚动角、角速度、圆形轨迹、微振动测量等，还能够测量数控机床的回转量等，从而实现定位、校准、控制和补偿。ZLM700主要用于单轴系统的校准和测量，广泛应用于高速动态加工工艺中的机械定位和系统控制。

性能优势
l真正意义上的双频激光干涉仪，频差为640MHz。请用户注意“激光干涉仪”和“双频激光干涉仪”的区别。众所周知双频激光干涉仪更好、性能更稳定。世界范围内只有两家双频激光干涉仪的生产商，德国耶拿尔公司是其中的一家。
l全部部件皆在德国生产制造，绝非为了降低成本而在第三方国家进行部件加工。光学组件全部采用蔡司光学镜，是世界上一家将的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的产品制造商。
l测量系统采用模块化设计，各种测量功能之间互不影响。若用户先期只需要干涉仪的部分功能（如仅测量直线度），则仅采购所需功能部分的光学部件（直线度光学镜），其他不需要的功能暂时可以不采购；若后期有其他功能的需求，补充采购功能对应的部件即可。
l 激光器寿命更长，可达20000小时，激光稳频高，一小时内为±0.002ppm，在产品寿命内可达±0.02ppm。
l干涉镜采用差分干涉原理，系统更高，可达±0.4ppm。
l计算机辅助光路调整，调整结果更准确。
l 采样频率更快，达1MHz，可在0.001Hz-1MHz之间进行选择。
l 被测物体速度16m/s（可选）；采用高AE950 PCI数据处理器，分辨率达0.6nm（当移动速度为1m/s时，线性分辨率更可高达为0.1nm）。
l无加速度限制；当光线微弱时，性能也十分稳定。
l信号延时<200ns；对电磁干扰不敏感。
l对于多轴联动的复杂光路测量和微位移测量，请选用ZLM800型双频激光干涉仪，多可实现六轴联动。

工作原理
型ZLM700激光干涉仪使用氦氖激光器，采用双频外差式工作模式。激光稳频为+/-0.002ppm，640MHz的频差用于信号处理。这种高频处理信号能够对高速物体进行测量，不会出现干扰误差，信号延时时间极短。 采用光纤电缆，把来自干涉镜的信号传输到计算机卡槽连接的电子计数器上，避免了外部电磁环境对测量信号的干扰。因此，ZLM700双频激光干涉仪特别适用于恶劣的生产环境、标准化实验室和高真空环境。

技术参数

型号：ZLM700使用高性能数据处理器AE950 PCI
He-Ne激光平均波长：632.8 nm
激光稳频：一小时2x10-9（±0.002ppm） 寿命内2x10-8（±0.02ppm）
系统（0-40℃时）：±0.4ppm
光束直径：6mm (可选3.2mm)
激光管突发输出功率：1mW (激光等级2)
每束光可测量的轴数：1
线性测量距离：40m，可扩展为120m
角度测量范围：± 15°，20m轴线范围
平面度测量范围：20m行程
直线度测量范围：± 5mm，2m或10m行程， 选用角度干涉仪可测30m行程
垂直度测量范围：± 5mm，2m或10m行程， 30m行程需用角度干涉仪
速度：4m/s，可选16m/s 80rad/s，角速度
加速：无限制
采样频率：内部1MHz，外部40MHz
预热时间：10分钟
/非线性：±0.3nm (角隅反射镜) ±0.1nm (平面反射镜)
距离测量分辨率：0.6nm (角隅反射镜) 0.3nm (平面反射镜) 0.1nm 可选
距离测量： (20°±0.5°) 使用AUK时 (20°±0.5°) 真空中时  ±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
线性度测量分辨率：0.6nm (角隅反射镜) 0.3nm (平面反射镜) 0.1nm 可选
线性度测量： (20°±0.5°) 使用AUK时 (20°±0.5°) 真空中时  ±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
速度测量：±0.5ppm实测值
角度测量分辨率：0.015μrad (3x10-3 弧秒)
角度测量：±0.1ppm实测值
平面度测量分辨率：0.015μrad (3x10-3 弧秒)
平面度测量：±0.2%实测值 ±0.05 弧度/米运行距离
直线度测量分辨率：36nm，10m行程 7.25nm，2m行程
直线度测量：±0.5%实测值，2m行程 ± 2.5%实测值，10m行程
垂直度测量分辨率：36nm，10m行程 7.25nm，2m行程
垂直度测量：±0.5%实测值2m，± 0.5弧秒* ±2.5%实测值10m，± 0.5弧秒*
数据接口：积分信号
32 Bit (实时时间)
Dt ? 20 ns
数据分析标准：ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作环境：温度：15°C-30°C 湿度：<90%无冷凝
储存环境：温度：10°C-40°C 湿度：<95%无冷凝

与欧洲某品牌激光干涉仪的参数对比
　耶拿尔干涉仪欧洲某品牌
　型号：ZLM700型号：XX-XX
工作原理:双频激光干涉原理(外差式, 频差640MHz)单频零差式激光干涉原理，采用远程干涉测量法
波长:632.991nm632.991nm
激光输出功率: <1mW Class II (可选 Class 3R)<1mW Class II
1小时内稳频:0.002ppm0.04ppm
产品寿命内稳频:0.02ppm0.1ppm/年
寿命:约20000小时约8000小时
稳定工艺:温度稳定法(对两种模式进行比较，外差式)零差式(1种模式)
激光束直径:6mm (可选3.2mm)6mm
每束激光可测量的轴数:1-61
测量范围　　
距离 :0...40m，可选120m0...40m，可选80m
角度:± 15°，轴线范围20m± 5° ，轴线范围15m
直线度:0-2m 或 0-10m0.1-4m 或 1-30m
垂直度:0-2m 或 0-10m0.1-4m 或 1-30m
分辨率　　
距离 (使用角隅反射镜) :0.6 nm，速度v= 4m/s1nm，速度v=4m/s
　0.3 nm，速度v= 2m/s　
　0.1 nm，速度v= 1m/s　
角度:0.003角秒(0.015μrad)0.1μrad
直线度(短距离):7nm10nm
垂直度(短距离):7nm10nm
直线度(长距离):36nm100nm
垂直度(长距离):36nm100nm
　　
距离:+/-0.4ppm+/-0.5ppm
角度:+/-0.1ppm+/-0.6%实测值
直线度(短距离):+/-0.5%实测值+/-0.5%实测值
垂直度(短距离):+/-0.5%实测值+/-0.5%实测值
直线度(长距离):+/-2.5%实测值+/-2.5%实测值
垂直度(长距离):+/-2.5%实测值+/-2.5%实测值
光学镜(直线度用):差分干涉镜无(仅使用一个Wollaston棱镜)
系统的线性度:非常好(这是因为使用了差分干涉镜)不明(取决于Wollaston棱镜质量)
可测量到的偏差范围　　
直线度:+/- 5mm+/-2.5mm
垂直度:+/- 5mm+/-2.5mm
辅助调节:计算机辅助调节小孔
接口:PCIUSB
　cPCI (PXI)　
　USB　
　AquadB (积分信号)　
　32bit实时　
采样速度: 0.001Hz - 1MHz (可调)50 kHz

ZLM700部分应用的光路图