自动白光干涉仪SIS 2000的详细信息

基本信息品牌：SNU型号：SIS 2000操作方式：自动功能：检测、观察、分析 ：1nm其它型号：SIS 1200   产品介绍    白光干涉仪SIS系列采用增加相位扫描干涉技术，是专为准确测量表面轮廓、粗糙度、台阶高度和其他表面参数而设计的微纳米测量系统,，为韩国SAMSUNG指定供应商，LPL友好俱乐部成员，清华大学，台湾大学，首尔大学友好合作伙伴。产品特点1、非接触式测量：避免物件受损。
2、三维表面测量：表面高度测量范围为1nm-200μm。
3、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。
4、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达到0.1nm。
5、高速数字信号处理器：实现测量仅需要几秒钟。
6、扫描仪：采用闭环控制系统。
7、工作台：气动装置、抗震、抗压。
8、测量软件：基于windows 操作系统的用户界面，强大而快速的运算。
技术参数机型SIS 2000工作台尺寸350mm×350mm倾斜度±3°测量行程X:200mm  Y:200mmZ轴行程100mm运动方式自动，马达驱动扫描速度30μm/sec垂直分辨率