量程

mm/inch

350/14″

600/24″

1000/40″

扩展范围

mm

520

770

1170

分辨率

mm

0.01/0.005/0.001/0.0005/0001

示值误差

um

(1.8+L/600), L 单位 mm

重复性*

um

0.5(平面) 1 (孔)

垂直度误差（电子调节）

um

正面≤5

正面≤6

正面≤10

充电后操作时间

h

16小时以内

测力

N

1.0±0.2

允许空气湿度

%

65(non condensed)

工作温度

°C

20±1

操作温度

°C

10...40

3-点气浮高度

um

-

-

Yes(大约9)

测量系统

带光电读头的光栅尺

高度

mm

741

985

1392

基座面积（L×W）

mm

240×250

重量

kg

25

30

35