白光干涉仪

白光干涉仪的检测应用

结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜，结合显微物镜与干涉仪，不需要复杂的光路调整程序，兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点，可提供垂直扫描高度达400μm之微三维量测，适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。应用领域包含：

·晶圆（Wafer）

·光盘/硬盘（DVD Disk/Haed Disk）

·微机电组件（MEMS Components）

·平面液晶显示器（LCD）

·高密度线路印刷电路板（HDI PCB）

·IC封装（IC Package）

·以及其他材料分析与组件微表面研究

高速精密的干涉条纹解析软件（ImgScan）

·系统硬件搭配ImgScan前处理软件自动解析白光干涉条纹。

·垂直高度分辨率可达0.1nm。

·高速的分析算法则，让您不在苦候量测结果。

·垂直扫描范围的设定轻松又容易。

·10×，20×与50×倍率的物镜可供选择。

·平台X、Y、Z位置数显式显示，使检测标的寻找快速又便利。

·具有手动/自动光强度调整功能以取得的干涉条纹对比。

·具有高的PVSI与高速的VSI扫描量测模式供7选择。

·具有的解析算法则，可处理半透明物体的3D形貌。

·具有自动补点功能。

·可自行设定扫描方向。

级的3D图形处理与分析软件（PostTopo）

·提供多功能又具亲和接口的3D图形处理与分析。

·提供自动表面平整化处理功能。

·提供阶高标准片的软件自校功能。

·深度/高度分析功能，提供线型分析与区域分析等两种方式。

·线型分析方式提供直接追溯ISO定义的表面粗糙度（roughness）与起伏度（waviness）的量测分析。可提供多达17种的ISO量测参数与4种额外量测数据。

·区域分析方式提供图形分析与统计分析。具有平滑化、锐化与数字滤波等多种二维快速傅利叶转换（FFT）处理功能。

·量测分析结果以BMP等多种图形档案格式输出或是以Excel文本文件格式输出。