测量

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• 校准标定
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      校准、定位、调整

• 机器误差补偿
• 铅锭误差补偿
• 螺距误差补偿

      控制

• 运动分析
• 动态行为
• 误差补偿

使用标准数据处理器AE700

使用高性能数据处理器AE950

He-Ne激光平均波长：

632.8 nm

632.8 nm

激光稳频：

一小时2x10^-9（±0.002ppm）

寿命内2x10^-8（±0.02ppm）

一小时2x10^-9（±0.002ppm）

寿命内2x10^-8（±0.02ppm）

系统（0-40℃时）：

±0.4ppm

±0.4ppm

光束直径：

6mm (可选3.2mm)

6mm (可选3.2mm)

激光管突发输出功率：

1mW (激光等级2)

1mW (激光等级2)

每束光可测量的轴数：

1，可选多6个

1，可选多6个

线性测量距离：

40m，可扩展为120m

40m，可扩展为120m

角度测量范围：

± 15°，20m行程

± 15°，20m行程

平面度测量范围：

20m行程

20m行程

直线度测量范围：

± 5mm，2m或10m行程，

选用角度干涉仪可测30m行程

± 5mm，2m或10m行程，

选用角度干涉仪可测30m行程

垂直度测量范围：

± 5mm，2m或10m行程，

30m行程需用角度干涉仪

± 5mm，2m或10m行程，

30m行程需用角度干涉仪

速度：

4m/s，可选16m/s

320rad/s 角速度

1m/s，平移量

80rad/s，角速度

加速：

无限制

无限制

采样频率：

内部1MHz，外部40MHz

内部1MHz，外部40MHz

预热时间：

12分钟

12分钟

/非线性：

±1.25nm (角隅反射镜)

±0.62nm (平面反射镜)

±0.3nm (角隅反射镜)

±0.1nm (平面反射镜)

距离测量分辨率：

2.5nm (角隅反射镜)

1.25nm (平面反射镜)

0.6nm (角隅反射镜)

0.3nm (平面反射镜)

0.1nm 可选

距离测量：

(20°± 0.5°) 使用AUK时

(20°± 0.5°) 真空中时

±0.4ppm (μ/m)

±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)

±0.4ppm (μ/m)

±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)

线性度测量分辨率：

2.5nm (角隅反射镜)

1.25nm (平面反射镜)

0.62nm可选

0.6nm (角隅反射镜)

0.3nm (平面反射镜)

0.1nm 可选

线性度测量：

(20°± 0.5°) 使用AUK时

(20°± 0.5°) 真空中时

±0.4ppm (μ/m)

±0.08 (±0.02)ppm (μ/m

±0.4ppm (μ/m)

±0.08 (±0.02)ppm (μ/m

速度测量：

±0.5ppm实测值

±0.5ppm实测值

角度测量分辨率：

0.062μrad (12x10^-3 角秒)

0.015μrad (3x10^-3 角秒)

角度测量：

±0.1ppm实测值

±0.1ppm实测值

平面度测量分辨率：

0.062μrad (12x10^-3 角秒)

0.015μrad (3x10^-3 角秒)

平面度测量：

±0.2%实测值

±0.05弧度/米行程

±0.2%实测值

±0.05 弧度/米行程

直线度测量分辨率：

145nm，10m行程

29nm，2m行程

36nm，10m行程

7.25nm，2m行程

直线度测量：

±0.5%实测值，2m行程

± 2.5%实测值，10m行程

±0.5%实测值，2m行程

± 2.5%实测值，10m行程

垂直度测量分辨率：

145nm，10m行程

29nm，2m行程

36nm，10m行程

7.25nm，2m行程

垂直度测量：

±0.5%实测值2m，± 0.5角秒*

±2.5%实测值10m，± 0.5角秒*

±0.5%实测值2m，± 0.5角秒*

±2.5%实测值10m，± 0.5角秒*

数据接口：

积分信号
32 Bit (实时时间)
Dt ? 20 ns

积分信号
32 Bit (实时时间)
Dt ? 20 ns

数据分析标准：

ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA

ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA

工作环境：

温度：15°C-30°C

湿度： <90%无冷凝

温度：15°C-30°C

湿度：<90%无冷凝

储存环境：

温度：10°C-40°C

湿度：<95%无冷凝

温度：10°C-40°C

湿度：<95%无冷凝