产品描述：

    雷尼绍XL系列激光干涉仪传承于的ML10 Gold激光干涉仪,其内部细分分辨率从1nm达到0.038nm,是同行其它产品难以做到的.占据该类市场的60%以上份额。

产品特点：

1、检测速度从每小时几个微米到每分钟240米(仍以分辨率0.001 um记数);
2、采样频率从静态到每秒50000个数据点(仍以分辨率0.001 um记数);
3、测量范围从数纳米的微观尺寸到80米的大尺寸测量;

技术参数：

系统: ±0.5ppm (0~40 ℃整个工作环境范围)
激光稳频:±0.05ppm
分辨率:0.001 um
测量速度:4.0m/sec
采样频率:50KHz
测量范围: 0 - 80 metres
预热时间更短:~6分钟