技术参数：
 
1. 线性：0.5ppm .
2. 测量范围：40米（1D可选80米）
3. 线性分辨力：0.001um.
4. 偏摆角和俯仰角的：（1.0+0.1/m）角秒或1%显示较大值
5. 范围：800角秒
6. 滚动角：1.0角秒
7. 直线度：（1.0+0.2/m）um或1%显示较大值
8. 直线度范围：500um
9. 垂直度：1角秒
10. 温度：0.2摄氏度
11.湿度：5%
12.压力：1mmHg

主要特点：

1. 同时测量线性定位误差、直线度误差（双轴）、偏摆角、俯仰角和滚动角；
2. 设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器；
3. 可选的无线遥控传感器长的控制距离可到25米；
4. 可测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性；
5. 全套系统重量仅15公斤，设计紧凑、体积小，测量机床时不需三角架；
6. 集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤，减少了调整时间。