主要特征：

   三轴导轨均采用天然花岗岩，具有相同的温度特性及刚性
? 三轴导轨均采用高自洁式空气轴承，运动更平稳，导轨受磨损
? 单边驱动活动桥式结构，显著运动性能，测量及稳定性
? Y轴采用整体燕尾式导轨，消除了运动扭摆，了测量及稳定性
? 欧洲开放式金属光栅尺，分辨率0.4 um
? 控制系统采用欧洲高自动控制系统，该系统内嵌32位微处理器，真正实现实时控制
? 三轴均采用大功率驱动器、电机及双级减速装置，传动、准确

规格型号与技术指标：