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型号C544C574测量范围X轴505mm(20″)505mm(20″)Y轴405mm(16″)705mm(28″)Z轴405mm(16″)405mm(16″)分辩率0.0001mm(.000004″)20℃时的 ISO10360-2MPEE=(1.9+3L/1000)um/(1.7+3L/1000)umMPEP=1.9um/1.7um(使用TP200/SP600)
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