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供应韩国INTEK非接触式三次元
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昆山茂鑫光电科技有限公司

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品牌韩国INTEK型号Elite 300C
类型非接触式三次元
Measuring Range(测量范围):
X-axis :300mm
Y-axis :200mm
Z-axis :150mm 
Measuring Uncertainty(测量):
U2 (X,Y) = 2.0 + L/250 μm
U1  (Z) = 2.5 + L/250 μm
Resolution(分辨率):
0.5 μm
System Construction(系统构造):
Precision lapped fine granite base(精密花岗岩平板)
High precision cross table(高精密度的十字桌)
Moving stage(运动轴承)
Drive System(驱动系统):
Backlash free ball screws through mass center(探头中心螺丝抗抖动（重液压）)
Servo motor drive for CNC of 3 -axis(DC伺服马达CNC的3轴伺服马达)
Precision Linear Motion guide system(精密线性运动指导系统)
Positioning Speed(传送速度):
0∼300mm/sec
Max. acceleration(加速度):
500mm/s²