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所属科学技术领域:半导体分立器件测试
适用范围:
BC3193分立器件参数测试系统的测试对象是各种半导体分立器件(二极管、整流桥、三极管、场效应管、可控硅、IGBT、光电耦合器和达林顿矩阵等)。系统可用于上述器件生产过程中的半导体圆片测试,成品测试,出厂检验;整机厂家的器件入厂检验和质量控制。
主要研究内容:
1) 系统接口;
2) 电压/电流源(VIS);
3) 高压源(HVS);
4) 测量板;
5) 测试台矩阵板;
6) 系统电源;
7) 系统电源控制板;
8) 各种适配器。
技术创新点:
1、该测试系统的特点在于具有±1500V的高电压和20A大电流的输出能力;6.1pA的小电流测量分辨率;同时首次采用了软件实时补偿方法来提高测试系统的;系统中使用的反馈技术使高压击穿参数测试安全稳定可靠。
2、BC3193测试系统,测试程序开发简单, 用户方便易学。系统中通用仪器接口和相应的自检、校准软件,使用户可以方便地校准系统参数,跟踪国家计量标准。 对科学技术进步的推动作用: 该产品产生了近200万元销售收入,社会效益显着,填补了国内半导体分立器件自动测试系统的空白,在军事科研、航空、兵器等工业部门使用,可以替代国外同类产品,产生了较好的社会效益和经济效益。
测试系统用途及主要测试对象
测试系统可对半导体分立器件进行测试,可测试的器件类型和参数项如下:
二极管:BVR、IR、VF、VZ、RZ
三极管: BVCBO、BVCEO、BVCES、BVCER、BVEBO、HFE、ICBO、ICBS、ICEO、 ICES、ICER、IEBO、VBEF、VBCF、VBESAT、VCESAT
可控硅:BVGKO、IAKF、IAKR、IGKO、IGT、IH、IL、VGT、VON
场效应管: BVDSO、BVDSS、BVDSR、BVDGO、BVGDS、BVGSO、BVGSS、GFS、IDSO、IDSS、IDSR、IG、IGDO、IGSO、IGSS、RDS(on)、VDS(on)、VGS、VGS(th)、VP
IGBT:BVCES、BVCGR、BVGES、ICES、IGES、VCESAT、VGETH、VGS(off)
光耦:CTR、BVECO、Tr、Tf、Toff、BVCBO、BVCEO、ICBO、ICEO、HFE、VBESAT、VCESAT、IR、IAKF、IAKR
达林顿矩阵:ICEX、 IIN(ON)、 IIN(Off)、 VIN(on)、 IR、VCESAT、BVR、HFE、ICEO
单结晶体管:Iv、Vv、IP、VP、VEB1、ETA、RBB、IEB1O、IB2
光敏二、三极管:ID、IL、VOC、ISC、BV、BVCE
固态继电器:IFoff 、IFon、IR、Ioff 、Ion、RON 、Toff 、Ton、VF 、VR、Von
测试系统可对器件测试结果进行存储和打印。
测试原理符合相应的国家标准、国家军用标准。
测试系统技术指标
1. 电流/电压源 VIS
1). 加压(FV)
量 程 | 分辨率 | 精 度 |
±20V(±30V可选) | 610uV | ±0.1% 设定值±2mV |
±10V | 305uV | ±0.1% 设定值±2mV |
±2V | 61uV | ±0.1% 设定值±2mV |
2).加流(FI):
量 程 | 分辨率 | 精 度 |
±20A(±40A可选) | 610uA | ±0.5% 设定值±50mA |
±2A | 61uA | ±0.2% 设定值±5mA |
±200mA | 6.1uA | ±0.1% 设定值±500uA |
±20mA | 610nA | ±0.1% 设定值±50uA |
±2mA | 61nA | ±0.1% 设定值±5uA |
±200uA | 6.1nA | ±0.1% 设定值±500nA |
±20uA | 610pA | ±0.2% 设定值±50nA |
±2uA | 61pA | ±0.5% 设定值±5nA |
2. 数据采集 VM
16位ADC,100K/S采样速率。
1). 电流测量(MI)
量 程 | 分辨率 | 精 度 |
±10A | 305uA | ±0.5% 读数值±20mA |
±2A | 61uA | ±0.2% 读数值±5mA |
±200mA | 6.1uA | ±0.1% 读数值±500uA |
±20mA | 610nA | ±0.1% 读数值±50uA |
±2mA | 61nA | ±0.1% 读数值±5uA |
±200uA | 6.1nA | ±0.1% 读数值±500nA |
±20uA | 610pA | ±0.1% 读数值±50nA |
±2uA | 61pA | ±0.2% 读数值±5nA |
±200nA | 6.1pA | ±0.5% 读数值±0.5nA |
2). 电压测量(MV)
量 程 | 分辨率 | 精 度 |
±2000V | 61mV | ±0.5% 读数值±200mV |
±100V | 3.05mV | ±0.2% 读数值±20mV |
±20V | 610uV | ±0.1% 读数值±10mV |
±10V | 305uV | ±0.1% 读数值±10mV |
±2V | 61uV | ±0.1% 读数值±2mV |
±200mV | 6.1uV | ±0.2% 读数值±2mV |
3. 高压源 HVS(基本) 16位DAC
量 程 | 分辨率 | 精 度 |
±2000V/5mA | 30.5mV | ±0.5% 设定值±500mV |